中国科学院长春光机所 长春新产业光电技术有限公司
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光学镀膜
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精密激光修复机
CNI所提供的激光修复设备主要是对显示屏、微电子、液晶行业生产制程中的不良及缺陷进行修复,从而提高制程良率的一款修复设备;设备以机器视觉系统和激光系统为核心,能为LCD成品\半成品的显示屏缺陷提供高精度修复且低成本的解决方案,更大程度的提升企业经营效率。
最小切割线宽为15μm,切割线宽可调调节范围为15-100μm;
光路为共聚焦系统,通过监视器可实时观测修复位置;
调节为多层平台叠加的设计。电动平移台移动速度可调,调节范围广;手动平移台和旋转台用以快速定位修复位置;
激光功率可调,可满足不同材料或产品的修复;
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